Uvod u jastučiće za poliranje poda

Sastav materijala ploča za brušenje podova (također se nazivaju pločama za poliranje ili pločama za brušenje) varira ovisno o njihovoj namjeravanoj primjeni i specifičnoj fazi tijeka obrade.

Jastučići za poliranje-poznati i kao CMP jastučići ili kemijski-mehanički planarizacijski jastučići-služe kao osnovni potrošni materijal u procesu kemijskog-mehaničkog poliranja (CMP). Prvenstveno se koriste za površinsku planarizaciju supstrata kao što su poluvodičke pločice. Obično izrađeni od materijala kao što je poliuretan, ovi su jastučići široko kategorizirani-na temelju svog sastava-u vrste uključujući poliuretan, ne-tkanine, prirodne materijale i kompozitne materijale. Povijesno gledano, ovo tržište su uvelike monopolizirala strana poduzeća; unutar domaćeg tržišta, Dinglong Co., Ltd. predstavlja reprezentativno poduzeće u ovom sektoru.

Njihova temeljna funkcija tijekom procesa poliranja uključuje isporuku smjese za poliranje, prijenos pritiska i mehaničko trenje na površini ploče.

Jastučići za poliranje obično imaju poroznu mikrostrukturu, sa specifičnim uzorcima utora dizajniranim na njihovim površinama kako bi se poboljšala ujednačenost poliranja.

Ključni parametri performansi-kao što su tvrdoća i obrasci utora-su kritični atributi jastučića za poliranje jer izravno utječu na brzinu uklanjanja materijala i konačnu završnu obradu površine.